Magnet Current Detector

佛昌料号：MCD
Magnet Current Detector
MCD 特别设计针对如果蚀刻机的线圈故障或Magnet Driver没有输出或输出不正常时，能及时提出警告避免产出不良品。
利用MCD装置将电流隔离磁场不受干扰，不会对原系统造成影响。

LED灯亮:表示电源正常
LED灯号慢速闪光:表示正在检测MagDriver的输出电流
LED灯号快速闪光:表示有小的误差，或是电流有一些相位误差