MFC Helium Noise Filter for MxP+
AMAT/MxP+蚀刻机台功能改良之配件与零件，可滤除氦气流量讯号杂讯。
MFC Helium Noise Filter for MxP+
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佛昌料号：HNF-3M
品名: MFC Helium Noise Filter for MxP+
用途: AMAT/MxP+蚀刻机台功能改良之配件与零件，可滤除氦气流量讯号杂讯。
是为MFC设计的低通滤波器，用来抑制MFC输出输入讯号的突波，稳定讯号，有效防止暂态的突波触发警报，但是却不会降低稳定状态的讯号数值。
