佛昌料號：HNF-3M
品名: MFC Helium Noise Filter for MxP
用途: AMAT/MxP蝕刻機台功能改良之配件與零件，可濾除氦氣流量訊號雜訊。
是為MFC設計的低通濾波器，用來抑制MFC輸出輸入訊號的突波，穩定訊號，有效防止暫態的突波觸發警報，但是卻不會降低穩定狀態的訊號數值。
品名: MFC Helium Noise Filter for MxP
用途: AMAT/MxP蝕刻機台功能改良之配件與零件，可濾除氦氣流量訊號雜訊。
是為MFC設計的低通濾波器，用來抑制MFC輸出輸入訊號的突波，穩定訊號，有效防止暫態的突波觸發警報，但是卻不會降低穩定狀態的訊號數值。
