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DPI-2D（Dry Pump Interlock Interface）

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佛昌料号：DPI-2D
Dry Pump Interlock Interface-2D
侦测各项Alarm ,Warning快速关闭真空管路阀门，避免停电或是Pump故障时，particle倒灌污染Chamber。

特点:超小体积，超低价，超环保省电，不故障，超快速安装。