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DPI-2D（Dry Pump Interlock Interface）

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佛昌料號：DPI-2D
Dry Pump Interlock Interface-2D
偵測各項Alarm ,Warning快速關閉真空管路閥門，避免停電或是Pump故障時，particle倒灌污染Chamber。

特點:超小體積，超低價，超環保省電，不故障，超快速安裝。