DPI-3B（Dry Pump Interlock Interface）

佛昌料号：DPI-3B
Dry Pump Interlock Interface-3B
侦测各项Alarm, Warning快速关闭真空管路关门，避免停电或是Pumo故障时，particle倒灌物污染Chamber。

DPI-3B特点

1. 用Pump电源,极省电,无需外部电源。 除了Interlock之外,不需配线。体积很小，不占空间。

2. 安装或移除只需拆面板，插拔接头，方便快速。

3. DPI-3B、DPI-3C Interlock for Kashiyama Dry Pump SD606、SDE1203、SDE2003。