DPI-3B（Dry Pump Interlock Interface）

佛昌料號：DPI-3B
Dry Pump Interlock Interface-3B
偵測各項Alarm, Warning快速關閉真空管路關門，避免停電或是Pumo故障時，particle倒灌物汙染Chamber。

DPI-3B特點

1. 用Pump電源,極省電,無需外部電源。 除了Interlock之外,不需配線。體積很小，不佔空間。

2. 安裝或移除只需拆面板，插拔接頭，方便快速。

3. DPI-3B、DPI-3C Interlock for Kashiyama Dry Pump SD606、SDE1203、SDE2003。