DPI-LAM9400（Dry Pump Interlock Interface）

佛昌料号：DPI-LAM9400
Dry Pump Interlock Interface-LAM9400

侦测各项Alarm,Warning快速关闭真空管路阀门，避免停电或是Pumo故障时，particle倒灌物污染Chamber。

适用於 Lam 9400 机台