DPI-LAM9400（Dry Pump Interlock Interface）

佛昌料號：DPI-LAM9400
Dry Pump Interlock Interface-LAM9400

偵測各項Alarm,Warning快速關閉真空管路閥門，避免停電或是Pumo故障時，particle倒灌物汙染Chamber。

適用於 Lam 9400 機台