Dry Pump Interlock Interface

佛昌料号：DPI-2D
侦测各项Alarm ,Warning快速关闭真空管路阀门，避免停电或是Pump故障时，particle倒灌污染Chamber。

特点:超小体积，超低价，超环保省电，不故障，超快速安装。

Compiler : Jon Chie 2016/8/25

特点:超小体积，超低价，电不须外接电源环保省电，不故障，超快速安装。

适用於 EBARA AAS ESR series Dry Pump。