Dry Pump Interlock Interface

佛昌料號：DPI-2D
偵測各項Alarm ,Warning快速關閉真空管路閥門，避免停電或是Pump故障時，particle倒灌污染Chamber。

特點:超小體積，超低價，超環保省電，不故障，超快速安裝。

Compiler : Jon Chie 2016/8/25

特點:超小體積，超低價，電不須外接電源環保省電，不故障，超快速安裝。

適用於 EBARA AAS ESR series Dry Pump。