FFD-135C (Fan Fault Dector)
佛昌料号：FFD-135C
FFD-135C (Fan Fault Dector)
1. FFD-135C风扇故障侦测器，专门为Mattson ASPEN-III蚀刻机台设计，安装快速简易，侦测风扇转速降低，提供故障的预警功能。
2. 能自动避免plasma & RF的干扰。
3. 在风扇寿命终结前，警示预警先换修。
All in one精巧的单一结构设计，利用光电感测器侦测风扇的叶片转动，经过微电脑晶片的运算控制，精确地侦测风扇的运转，当风扇转速低於预定值就会警告或中断设备之运作，可避免机器设备因此不稳定，损毁机台，或产出品质不良的产品，或其他的危险。
FFD-135C (Fan Fault Dector)
1. FFD-135C风扇故障侦测器，专门为Mattson ASPEN-III蚀刻机台设计，安装快速简易，侦测风扇转速降低，提供故障的预警功能。
2. 能自动避免plasma & RF的干扰。
3. 在风扇寿命终结前，警示预警先换修。
All in one精巧的单一结构设计，利用光电感测器侦测风扇的叶片转动，经过微电脑晶片的运算控制，精确地侦测风扇的运转，当风扇转速低於预定值就会警告或中断设备之运作，可避免机器设备因此不稳定，损毁机台，或产出品质不良的产品，或其他的危险。
