FFD-135C (Fan Fault Dector)
佛昌料號：FFD-135C
FFD-135C (Fan Fault Dector)
1. FFD-135C風扇故障偵測器，專門為Mattson ASPEN-III蝕刻機台設計，安裝快速簡易，偵測風扇轉速降低，提供故障的預警功能。
2. 能自動避免plasma & RF的干擾。
3. 在風扇壽命終結前，警示預警先換修。
All in one精巧的單一結構設計，利用光電感測器偵測風扇的葉片轉動，經過微電腦晶片的運算控制，精確地偵測風扇的運轉，當風扇轉速低於預定值就會警告或中斷設備之運作，可避免機器設備因此不穩定，損毀機台，或產出品質不良的產品，或其他的危險。
FFD-135C (Fan Fault Dector)
1. FFD-135C風扇故障偵測器，專門為Mattson ASPEN-III蝕刻機台設計，安裝快速簡易，偵測風扇轉速降低，提供故障的預警功能。
2. 能自動避免plasma & RF的干擾。
3. 在風扇壽命終結前，警示預警先換修。
All in one精巧的單一結構設計，利用光電感測器偵測風扇的葉片轉動，經過微電腦晶片的運算控制，精確地偵測風扇的運轉，當風扇轉速低於預定值就會警告或中斷設備之運作，可避免機器設備因此不穩定，損毀機台，或產出品質不良的產品，或其他的危險。
